一种谐振器的制作方法及谐振器

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113872558 A (43)申请公布日 2021.12.31 (21)申请号 202111152610.X (22)申请日 2021.09.29 (71)申请人 苏州汉天下电子有限公司 地址 215000 江苏省苏州市苏州工业园区 金鸡湖大道99号苏州纳米城东北区39 幢 (72)发明人 王友良　杨清华　 (74)专利代理机构 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人 赵迎迎 (51)Int.Cl. H03H 9/02 (2006.01) H03H 3/02 (2006.01) 权利要求书3页 说明书9页 附图6页 (54)发明名称 一种谐振器的制作方法及谐振器 (57)摘要 本发明实施例公开了一种谐振器的制作方 法及谐振器。方法包括：基底的第一表面设置有 第一凹槽；在基底的第一表面形成第一下电极； 第一下电极包括开口，开口的深度等于第一下电 极的厚度，开口在基底的垂直投影与第一凹槽不 交叠；形成第二下电极，第二下电极的第一部分 在基底的垂直投影与开口在基底的垂直投影重 合；形成第二牺牲层，第二牺牲仅覆盖第一部分， 且第二牺牲层的厚度等于开口的深度；在第二牺 牲层远离基底的一侧依次形成压电层和上电极 层；对第一牺牲层和第二牺牲层进行处理，形成 位于第一部分和压电层之间的空气桥，以及位于 A 基底和下电极之间的空腔。本发明实施例可以实 8 现空气桥的厚度可控，降低谐振器的