一种电极加工用喷涂设备

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116356245 A (43)申请公布日 2023.06.30 (21)申请号 202310401103.8 (22)申请日 2023.04.15 (71)申请人 苏州高芯众科半导体有限公司 地址 215200 江苏省苏州市吴江区江陵街 道富家路777号 (72)发明人 杨斌　李敏成　姜勇鹤　 (51)Int.Cl. C23C 4/134 (2016.01) 权利要求书2页 说明书6页 附图3页 (54)发明名称 一种电极加工用喷涂设备 (57)摘要 本申请涉及一种电极加工用喷涂设备，涉及 喷涂设备技术领域，为了解决现有技术中工件表 面的涂层喷涂不够均匀，无法对工件形成良好的 保护的问题。其包括喷涂枪，喷涂枪内部设置有 进气通道，进气通道内设置有阴极导向柱，喷涂 枪的枪口处内壁设置有阳极板，阳极板开设有出 气口 ，出气口表面设置有阳极导向罩，阴极导向 柱插设入阳极导向罩内，阴极导向柱与阳极导向 罩之间的间隙供等离子气体穿过，喷涂枪的枪口 外壁套设有上料管，上料管内壁开设有送粉嘴。 本申请通过将稀土制成粉末，并通过高温的等离 子气流将粉末进一步雾化，从而使得工件表面能 A 够更加全面地覆盖精密涂层，以提高精密涂层的 5 保护能力的效果。 4 2 6 5 3 6 1 1 N C CN 116356245 A 权　利　要　求　书 1/2 页 1.一种电极加工用喷涂