具有四通道射频电源分配器2025

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117248201 A (43)申请公布日 2023.12.19 (21)申请号 202311086989.8 (22)申请日 2023.08.28 (71)申请人 大连皓宇电子科技有限公司 地址 116602 辽宁省大连市中国（辽宁）自 由贸易试验区大连保税区海兴街60-2 号1571室 (72)发明人 范震　史常龙　徐家庆　唐丽娜　 (74)专利代理机构 大连智高专利事务所(特殊 普通合伙) 21235 专利代理师 盖小静 (51)Int.Cl. C23C 16/505 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图4页 (54)发明名称 具有四通道射频电源分配器 (57)摘要 本发明公开了具有四通道射频电源分配器， 包括四个支路，每个支路具有高频汇流单元、低 频滤波单元、谐振组合单元和输出单元，所述高 频汇流单元与低频滤波单元、输出单元相连，所 述低频滤波单元的一个支路与低频输入板相连， 另一个支路通过电容C1与谐振组合单元相连，所 述谐振组合单元还与输出单元相连。所述高频汇 流单元，包括高频输入端子和第一高频汇流板； 所述低频滤波单元，包括L1电感、低频汇流板和 L4磁环电感；所述谐振组合单元包括第二高频汇 流板、谐振滤波电路和谐振陷波电路；所述输出 单元包括继电器和L3电感。本分配器可以将一路 A 高频射频电源和一路低频射频电源平均分配给 1 四路输出，大大节约了生产制造成本。 0 2