一种基于边缘迭代的电子束光刻剂量形状校正方法

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114675508 A (43)申请公布日 2022.06.28 (21)申请号 202210381947.6 (22)申请日 2022.04.13 (71)申请人 湖南大学 地址 410082 湖南省长沙市岳麓区麓山南 路1号湖南大学 (72)发明人 刘杰　徐宏成　姚文泽　赵浩杰　 张思媛　 (51)Int.Cl. G03F 7/20 (2006.01) G06F 17/16 (2006.01) 权利要求书4页 说明书9页 附图4页 (54)发明名称 一种基于边缘迭代的电子束光刻剂量形状 校正方法 (57)摘要 本发明是一种基于边缘迭代的电子束光刻 剂量形状校正方法，通过判断并存储版图边缘各 个点的位置的曝光情况进行迭代的修正，直到符 合收敛标准就停止。本发明共分为六个步骤：步 骤S1：电子束曝光版图网格划分；步骤S2：判断并 存储曝光版图中每个图素边缘各点的位置；步骤 S3：模拟电子束曝光版图曝光、显影过程，计算每 个图素边缘对应像素的偏移量；步骤S4：根据每 个图素边缘对应像素的偏移量，修正每个图素的 边缘曝光位置；步骤S5：计算误差并判断迭代是 否收敛；步骤S6：获取形状修正后的版图。由于只 A 需要计算版图的边界所以其修正时间较短，且精 8 确校正计算边缘所有点的能量，所以本发明具有 0 5 5 高计算效率，高计算精度的特点。 7 6 4 1 1 N C CN 114675508 A 权