一种扫描曝光方法及装置、扫描曝光设备

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114675506 A (43)申请公布日 2022.06.28 (21)申请号 202210351933.X (22)申请日 2022.04.02 (71)申请人 京东方科技集团股份有限公司 地址 100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号 (72)发明人 冯京　刘鹏　王志冲　苌川川　 袁广才　董学　 (74)专利代理机构 北京市铸成律师事务所 11313 专利代理师 王云红　翟姝红 (51)Int.Cl. G03F 7/20 (2006.01) 权利要求书3页 说明书12页 附图3页 (54)发明名称 一种扫描曝光方法及装置、扫描曝光设备 (57)摘要 本公开实施例提供一种扫描曝光方法及装 置、扫描曝光设备。方法包括：根据待曝光基板的 多个待曝光版图，确定目标扫描速度和各待曝光 版图分别对应的预设曝光剂量；根据各待曝光版 图和各预设曝光剂量，确定各预设曝光剂量在待 曝光基板上对应的各曝光区域；根据各预设曝光 剂量，确定参考曝光剂量；基于目标扫描速度对 待曝光基板进行扫描，在扫描至各曝光区域的情 况下，调节数字曝光机的数字微镜单元在曝光区 域的曝光剂量为对应的目标曝光剂量；其中，根 据曝光区域对应的预设曝光剂量、参考曝光剂量 以及预设的目标剂量关系式，确定对应的目标曝 A 光剂量。本公开的技术方案，可以实现一次扫描 6 过程中的多剂量曝光，节约了曝光时间。 0 5 5 7 6 4 1 1 N C CN