系列照明条件的叠层成像方法及装置2024
- 申请专利号:CN202410308457.2
- 公开(公告)日:2024-11-26
- 公开(公告)号:CN118097022A
- 申请人:清华大学
专利内容
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 118097022 A (43)申请公布日 2024.05.28 (21)申请号 202410308457.2 (22)申请日 2024.03.18 (71)申请人 清华大学 地址 100084 北京市海淀区清华园1号 (72)发明人 于荣 崔吉哲 (74)专利代理机构 北京清亦华知识产权代理事 务所(普通合伙) 11201 专利代理师 黄德海 (51)Int.Cl. G06T 17/00 (2006.01) G06T 5/10 (2006.01) G06N 20/00 (2019.01) 权利要求书2页 说明书8页 附图3页 (54)发明名称 系列照明条件的叠层成像方法及装置 (57)摘要 本发明涉及计算成像技术领域,特别涉及一 种系列照明条件的叠层成像方法及装置,其中, 方法包括:在不同的离焦条件下,对目标样品的 同一区域进行扫描,得到多个衍射数据;根据目 标样品的初始物函数和多个衍射数据的每个衍 射数据对应的初始光源函数计算正向传播过程 中的多个模拟数据;计算多个衍射数据和多个模 拟数据的损失函数;求解损失函数关于待优化参 数的梯度,根据梯度优化待优化参数,迭代计算 损失函数和优化过程,直至满足预设终止条件, 得到优化后的参数,以利用优化后的参数对目标 样品进行叠层成像。由此,解决了现有多片层叠 A 层成像算法得到的不同深度的样品信息质量不 2 一,重叠度较小的片层的重构质量较差等问题。 2 0 7 9
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