减压干燥装置2025

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117358548 A (43)申请公布日 2024.01.09 (21)申请号 202310419640.5 (22)申请日 2023.04.19 (30)优先权数据 2022-109686 2022.07.07 JP (71)申请人 株式会社斯库林集团 地址 日本京都府京都市上京区堀川通寺之 内上4丁目天神北町1番地之1 (72)发明人 北村翔也　 (74)专利代理机构 北京同立钧成知识产权代理 有限公司 11205 专利代理师 贺财俊　刘芳 (51)Int.Cl. B05D 3/04 (2006.01) 权利要求书1页 说明书18页 附图9页 (54)发明名称 减压干燥装置 (57)摘要 本发明提供一种抑制对涂布膜产生干燥不 均的技术。减压干燥装置(1)包括腔室(10)、多个 支撑销(22)以及排气部(30)。腔室(10)收容基板 (9)。多个支撑销(22)在腔室 (10)内从下方支撑 基板(9)。排气部(30)将腔室(10)内的气体排出。 多个支撑销 (22)包含一个以上的第一支撑销 (22a)、以及比第一支撑销(22a)细的一个以上的 第二支撑销(22b)。第一支撑销(22a)中的至少一 个从下方支撑基板 (9)中的周缘区域。第二支撑 销(22b)中的至少一个从下方支撑基板 (9)的比 周缘区域更靠内侧的内侧区域中的形成有涂布 膜的区域。 A 8 4 5 8 5 3 7 1