一种单晶炉的组合套筒及单晶炉

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114197034 A (43)申请公布日 2022.03.18 (21)申请号 202010909017.4 (22)申请日 2020.09.02 (71)申请人 西安奕斯伟材料科技有限公司 地址 710000 陕西省西安市高新区西沣南 路1888号1-3-029室 申请人 西安奕斯伟硅片技术有限公司 (72)发明人 杨文武　沈福哲　 (74)专利代理机构 北京银龙知识产权代理有限 公司 11243 代理人 许静　胡影 (51)Int.Cl. C30B 15/14 (2006.01) C30B 29/06 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图3页 (54)发明名称 一种单晶炉的组合套筒及单晶炉 (57)摘要 本发明提供一种单晶炉的组合套筒及单晶 炉，所述组合套筒包括：内筒、外筒、环形底盘和 套管，所述内筒呈倒锥形，所述内筒的上端与所 述外筒的上端连接，所述外筒的下端与所述环形 底盘的外缘部密封连接，所述内筒的下端与所述 环形底盘的上表面固定连接，所述套管穿设固定 于所述环形底盘的环口内。根据本发明实施例的 组合套筒，在保持硅熔液固、液气三相交界点稳 定的前提下，保证惰性气体有序稳定地从硅熔液 表面掠过，在带走一氧化硅气体的同时，可以使 硅熔液部分热量向晶棒表面传输，减小了晶棒下 端的边缘轴向温度差以及边缘轴向温度差与中 A 心轴向温度差的差值，使其接近于理想值，使得