一种精确控温半导体晶圆退火炉2025

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117448968 A (43)申请公布日 2024.01.26 (21)申请号 202311421128.0 (22)申请日 2023.10.27 (71)申请人 扬州韩思半导体科技有限公司 地址 225000 江苏省扬州市高新技术开发 区吉利路21号2幢 (72)发明人 杨志勇　单庆喜　王恒　 (74)专利代理机构 南京智转慧移知识产权代理 有限公司 32649 专利代理师 朱进 (51)Int.Cl. C30B 33/02 (2006.01) 权利要求书2页 说明书6页 附图9页 (54)发明名称 一种精确控温半导体晶圆退火炉 (57)摘要 本申请公开了一种精确控温半导体晶圆退 火炉，包括炉体以及与炉体铰接的炉门，所述炉 体内安装有石英腔室、加热单元、晶圆载台和供 气单元，所述炉门处安装有温度检测装置。本申 请的退火炉，具有高温计，高温计可以在晶圆退 火过程中检测炉体内部的温度，每个加热灯能够 单独调节，从而可以对内部加热温度均匀性实现 更好的控制，温度检测装置采用热电偶的方式测 温，温度检测更加准确，既可以校准加热灯，对加 热灯进行调节，也可以用于校准高温计，温度检 测装置具有两种工作状态，第一状态可以作为辅 助温控，第二状态为通过多个温度传感器有效的 A 监测整个退火过程的温度，从而更好地在需要的 8 情况下实现对加热灯功率的调节。 6 9 8 4 4 7 1 1 N C CN 11744