电极馈入装置和化学沉积设备

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115710697 A (43)申请公布日 2023.02.24 (21)申请号 202211401702.1 (22)申请日 2022.11.09 (71)申请人 江苏微导纳米科技股份有限公司 地址 214000 江苏省无锡市新吴区漓江路 11号 (72)发明人 王亨　廖宝臣　张良俊　李挺　 (74)专利代理机构 深圳市威世博知识产权代理 事务所(普通合伙) 44280 专利代理师 陈婷 (51)Int.Cl. C23C 16/50 (2006.01) 权利要求书2页 说明书5页 附图5页 (54)发明名称 电极馈入装置和化学沉积设备 (57)摘要 本申请公开了电极馈入装置和化学沉积设 备，电极馈入装置包括电极导杆、电极块和载片 舟。电极块设置于电极导杆上。载片舟具有舟脚， 舟脚与电极块抵接，以将二者电性连接。其中，电 极块和舟脚的至少其中一者设置有阻挡部，用于 阻挡工艺气体进入舟脚与电极块之间的缝隙。通 过上述方式，本申请能够增强电场的稳定性。 A 7 9 6 0 1 7 5 1 1 N C CN 115710697 A 权　利　要　求　书 1/2页 1.一种电极馈入装置，其特征在于，包括： 电极导杆； 电极块，设置于所述电极导杆上； 载片舟，所述载片舟具有舟脚，所述舟脚与所述电极块抵接，以将二者电