蒸镀设备自动开关门控制方法、开门装置及蒸镀设备

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112410731 A (43)申请公布日 2021.02.26 (21)申请号 202011264184.4 (22)申请日 2020.11.12 (71)申请人 江苏集萃有机光电技术研究所有限 公司 地址 215000 江苏省苏州市吴江区黎里镇 汾湖大道1198号 (72)发明人 廖良生　梁舰　陈晓　陈敏　 武启飞　 (74)专利代理机构 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人 胡彬 (51)Int.Cl. C23C 14/24 (2006.01) C23C 14/54 (2006.01) C23C 14/56 (2006.01) 权利要求书2页 说明书6页 附图3页 (54)发明名称 蒸镀设备自动开关门控制方法、开门装置及 蒸镀设备 (57)摘要 本发明涉及蒸镀设备技术领域，尤其涉及一 种蒸镀设备自动开关门控制方法、开门装置及蒸 镀设备。其中，所述蒸镀设备自动开关门控制方 法，包括如下步骤：向第一电控门施加一个压向 密封腔室方向的压力F3；向密封腔室内充入惰性 气体，其中，密封腔室内的惰性气体作用在第一 电控门上的压力F4小于F3和F1之和；当密封腔室 内的惰性气体作用在第二电控门上的压力F5近 似等于F2后，控制第二电控门开门。通过上述蒸 镀设备自动开关门控制方法，实现双自动开关门 型蒸镀设备开门顺序可控，在