一种基于空间编码照明的芯片套刻测量装置及其方法2025

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116991046 A (43)申请公布日 2023.11.03 (21)申请号 202311057215.2 (22)申请日 2023.08.21 (71)申请人 奈米科学仪器设备 （上海）有限公司 地址 201206 上海市浦东新区中国 （上海） 自由贸易试验区金海路1000号48幢1- 2层 (72)发明人 刘志平　邱志群　叶颖　 (74)专利代理机构 上海誉知恒专利代理事务所 (普通合伙) 31452 专利代理师 李杨 (51)Int.Cl. G03F 7/20 (2006.01) G01B 11/02 (2006.01) G02B 21/06 (2006.01) G02B 21/02 (2006.01) 权利要求书2页 说明书4页 附图3页 (54)发明名称 一种基于空间编码照明的芯片套刻测量装 置及其方法 (57)摘要 本发明公开了一种基于空间编码照明的芯 片套刻测量装置及其方法，包括显微成像单元， 用于将待检测芯片反射成像得到图像，并获取调 节指令进行光线调节直至获取到高精度测量图 像；计算机控制单元，用于获取图像分析明暗信 息，计算误差后进行输出或上传调节指令 ；所述 显微成像单元包括激光驱动器、会聚透镜、可调 光阑、准直物镜、聚焦物镜、分光棱镜一、分光棱 镜二、显微物镜、管镜和图像传感器。本发明装置 结构简单，容易集成，通过空间光调制