用于自由形状的光学邻近校正2025

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116710843 A (43)申请公布日 2023.09.05 (21)申请号 202080107815.3 (51)Int.Cl . G03F 1/70 (2006.01) (22)申请日 2020.10.08 (85)PCT国际申请进入国家阶段日 2023.06.08 (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/US2020/054724 2020.10.08 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2022/075989 EN 2022.04.14 (71)申请人 西门子工业软件有限公司 地址 美国德克萨斯州 (72)发明人 G ·P ·利平科特　V ·卢比希　 K ·萨卡吉尔　 (74)专利代理机构 华进联合专利商标代理有限 公司 44224 专利代理师 景怀宇 权利要求书2页 说明书12页 附图11页 (54)发明名称 用于自由形状的光学邻近校正 (57)摘要 所公开的技术的各方面涉及用于将光学邻 近校正应用于自由形状的技术。每个光学邻近校 正迭代包括：基于从紧接在多个光学邻近校正迭 代中的每一者之前的光学邻近校正迭代得出的 边缘放置误差来计算用于直线片段的边缘调整 值，基于所确定的边缘调整值来调整直线片段的 位置，基于经调整的位置上的直线片段来确定布 局特征的平滑边界线，对具有平滑边界线