脉冲宽度扩展装置和电子器件的制造方法

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114902143 A (43)申请公布日 2022.08.12 (21)申请号 202080091363.4 (51)Int.Cl. G03F 7/20 (2006.01) (22)申请日 2020.02.27 H01S 3/10 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 H01S 3/225 (2006.01) 2022.07.01 (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/JP2020/008159 2020.02.27 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2021/171516 JA 2021.09.02 (71)申请人 极光先进雷射株式会社 地址 日本栃木县 (72)发明人 宫本浩孝　若林理　 (74)专利代理机构 北京三友知识产权代理有限 公司 11127 专利代理师 于英慧　蔡丽娜 权利要求书4页 说明书18页 附图19页 (54)发明名称 脉冲宽度扩展装置和电子器件的制造方法 (57)摘要 本公开的一个观点的脉冲宽度扩展装置具 有偏振分束器和转印光学系统。转印光学系