原创力.专利
感测对准标记的设备和方法
- 申请专利号：CN202080073644.7
- 公开（公告）日：2025-01-24
- 公开（公告）号：CN114585972A
- 申请人：ASML控股股份有限公司
专利内容
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114585972 A (43)申请公布日 2022.06.03 (21)申请号 202080073644.7 (74)专利代理机构 中科专利商标代理有限责任 公司 11021 (22)申请日 2020.09.28 专利代理师 王益 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 62/923,735 2019.10.21 US G03F 7/20 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 G03F 9/00 (2006.01) 2022.04.20 (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/EP2020/077141 2020.09.28 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2021/078474 EN 2021.04.29 (71)申请人 ASML控股股份有限公司 地址 荷兰维德霍温 (72)发明人 K ·肖梅 I ·M ·P ·阿蒂斯 李晙源
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