一种基于薄膜铌酸锂的片上热光相移器2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 221039681 U (45)授权公告日 2024.05.28 (21)申请号 202323213230.X (22)申请日 2023.11.28 (73)专利权人 中国计量大学 地址 310018 浙江省杭州市钱塘区白杨街 道学源街258号中国计量大学 (72)发明人 金风阳　陈力荣　裘燕青　 (51)Int.Cl. G02F 1/01 (2006.01) G02F 1/00 (2006.01) 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 (54)实用新型名称 一种基于薄膜铌酸锂的片上热光相移器 (57)摘要 本实用新型公开了一种基于薄膜铌酸锂的 片上热光相移器，从底部至上依次包括基底层、 埋氧层、波导芯层、波导上包层、电极层；埋氧层 作为基底层和波导芯层之间的绝缘层，波导上包 层用于保护波导芯层，电极层用于对波导芯层中 的光波进行热光调制。利用薄膜铌酸锂材料的热 光效应，通过电极层中的钛电极对材料进行加 热，当材料受热时其有效折射率随着温度的变化 而改变，从而实现了对光波相位的调制。本实用 新型结构简单、器件尺寸紧凑且相移效率好，能 够满足光通信领域对高性能薄膜铌酸锂电光调 制器的需求。 U 1 8 6 9 3 0 1 2 2 N C CN 221039681 U 权　利　要　求　书 1/1页 1.一种基于薄膜铌酸锂的片上热光相移器，其特征在