衍射光波导的制造方法和衍射光波导2025

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117192691 A (43)申请公布日 2023.12.08 (21)申请号 202311307105.7 (22)申请日 2023.10.10 (71)申请人 舜宇奥来微纳光电信息技术（上海） 有限公司 地址 200135 上海市浦东新区康威路299号 B区2楼 (72)发明人 张学颖　沈健　陈远　 (74)专利代理机构 杭州华进联浙知识产权代理 有限公司 33250 专利代理师 安威威 (51)Int.Cl. G02B 6/13 (2006.01) G02B 6/122 (2006.01) G02B 27/01 (2006.01) G02B 6/12 (2006.01) 权利要求书1页 说明书5页 附图3页 (54)发明名称 衍射光波导的制造方法和衍射光波导 (57)摘要 本发明提供了一种衍射光波导的制造方法 和衍射光波导，其能够解决盖板定制的难题，便 于缩短产品加工周期，降低产品制造成本。该衍 射光波导的制造方法，包括步骤：分别贴合盖板 玻璃晶圆于光波导晶圆的表面，以得到晶圆贴合 组件；对该晶圆贴合组件进行切割裂片，以得到 至少一片光波导半成品；以及对该光波导半成品 进行离子交换强化，以得到衍射光波导。 A 1 9 6 2 9 1 7 1 1 N C CN 117192691 A 权　利　要