一种高纯铝靶材的制备方法2025

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116791050 A (43)申请公布日 2023.09.22 (21)申请号 202310901827.9 (22)申请日 2023.07.21 (71)申请人 株洲火炬安泰新材料有限公司 地址 412000 湖南省株洲市天元区湘芸路 2586号 (72)发明人 唐安泰　唐智勇　程波　 (74)专利代理机构 湖南会挽专利代理事务所 (普通合伙) 43286 专利代理师 周冬辉 (51)Int.Cl. C23C 14/34 (2006.01) C22F 1/04 (2006.01) C23C 26/00 (2006.01) 权利要求书2页 说明书9页 (54)发明名称 一种高纯铝靶材的制备方法 (57)摘要 本发明公开了一种高纯铝靶材的制备方法， 包括以下步骤：采用硼酸铝晶须复调壳聚糖液进 行喷洒处理，喷洒至步骤二产物完全润湿，结束； 将步骤三的产物置于310‑320℃下热处理10‑ 20min，然后于盐浴剂中处理10‑20min，处理结 束；最后再热温化改进处理，处理结束，得到高纯 铝靶。本发明高纯铝靶材采用纯铝经过溶化、冷 却形成铝锭体，再通过步骤二的热处理先优化、 活化产品的活性度，再恒温冷却，使产品性能温 和，从而使产品的晶粒尺寸、致密性以及导电性 得到协调改进。 A 0 5 0 1 9 7 6 1 1 N C CN 116791050 A