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发明

一种提高钕铁硼性能的稀土合金靶材制备方法

2023-06-25 07:10:38 发布于四川 3
  • 申请专利号：CN202211089838.3
  • 公开（公告）日：2025-06-10
  • 公开（公告）号：CN116288192A
  • 申请人：有研稀土新材料股份有限公司|||有研稀土高技术有限公司
摘要：本发明公开了一种提高钕铁硼性能的稀土合金靶材制备方法，包括如下步骤：将稀土旋转靶材与预设金属靶管制备成稀土合金旋转靶材，稀土旋转靶材的材料为铽、镝、钬、钆中的一种，预设金属靶管包括铝、铜、镍、铁等中的至少一种；将稀土合金旋转靶材与背管焊接在一起；将稀土合金旋转靶材与背管安装于镀膜生产线上；对磁铁进行热处理和回火处理，得到处理后的稀土合金靶材。为提高稀土靶材利用率、溅射效率和实现成分精准控制，同时达到缩短晶界扩散时间或降低扩散温度，将稀土与预设金属元素组合制备成合金旋转靶材，靶材利用率可达85％以上，实现铽/镝等稀土和预设金属元素同时附着在钕铁硼表面，有助于改善晶界扩散和优化磁体性能。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116288192 A (43)申请公布日 2023.06.23 (21)申请号 202211089838.3 C22F 1/16 (2006.01) C21D 9/00 (2006.01) (22)申请日 2022.09.07 B23P 15/00 (2006.01) (71)申请人 有研稀土新材料股份有限公司 地址 100088 北京市海淀区新街口外大街2 号 申请人 有研稀土高技术有限公司 (72)发明人 王志强　钟嘉珉　陈德宏　李宗安　 庞思明　张小伟　吴道高　程军　 杨秉政　张艳岭　张洪超　程博　 (74)专利代理机构 北京中创云知识产权代理事 务所(普通合伙) 11837 专利代理师 肖佳 (51)Int.Cl. C23C 14/35 (2006.01) C22C 28/00 (2006.01) 权利要求书1页 说明书5页 附图1页 (54)发明名称 一种提高钕铁硼性能的稀土合金靶材制备 方法 (57)摘要 本发明公开了一种提高钕铁硼性能的稀土 合金靶材制备方法，包括如下步骤：将稀土旋转 靶材与预设金属靶管制备成稀土合金旋转靶材， 稀土旋转靶材的材

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