原创力.专利
波前传感器及相关量测装置
- 申请专利号：CN201980090213.9
- 公开（公告）日：2024-05-31
- 公开（公告）号：CN113348412A
- 申请人：ASML荷兰有限公司
专利内容
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113348412 A (43)申请公布日 2021.09.03 (21)申请号 201980090213.9 (74)专利代理机构 北京市金杜律师事务所 11256 (22)申请日 2019.12.19 代理人 赵林琳 郑振 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 19153671.3 2019.01.25 EP G03F 7/20 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 G01J 9/00 (2006.01) 2021.07.23 H05G 2/00 (2006.01) (86)PCT国际申请的申请数据 G02B 3/00 (2006.01) PCT/EP2019/086296 2019.12.19 G02B 5/18 (2006.01) (87)PCT国际申请的公布数据 WO2020/151891 EN 2020.07.30 (71)申
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