一种负性感光性聚酰亚胺组合物、图形的制造方法以及电子部件2025

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117055292 A (43)申请公布日 2023.11.14 (21)申请号 202210494614.4 (22)申请日 2022.05.07 (71)申请人 江苏艾森半导体材料股份有限公司 地址 215300 江苏省苏州市昆山市千灯镇 黄浦江路1647号 (72)发明人 刘斌　向文胜　胡泽明　张兵　 赵建龙　杨一伍　季学华　 (74)专利代理机构 北京品源专利代理有限公司 11332 专利代理师 边人洲 (51)Int.Cl. G03F 7/027 (2006.01) G03F 7/038 (2006.01) G03F 7/20 (2006.01) 权利要求书4页 说明书22页 附图1页 (54)发明名称 一种负性感光性聚酰亚胺组合物、图形的制 造方法以及电子部件 (57)摘要 本发明提供一种负性感光性聚酰亚胺组合 物、图形的制造方法以及电子部件，所述负性感 光性聚酰亚胺组合物含有下述成分(a)、(b)、(c) 和(d)：(a)可溶于碱性水溶液的聚合物，(b)光聚 合反应引发剂，(c)具有可聚合官能团的化合物， 所述可聚合官能团包括不饱和的双键或三键， (d)热交联剂。本发明的负性感光性聚酰亚胺组 合物未曝光于紫外光的部分易溶于碱性水溶液， 而已曝光于紫外光的部分不溶于碱性水溶液，因 而能够有效地复制精细的图案。此外，本发明的 负性感光性聚酰亚胺组合物未曝光部分与曝光