具有检视窗的光罩盒的结构及方法

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113126426 A (43)申请公布日 2021.07.16 (21)申请号 202011549970.9 (22)申请日 2020.12.24 (30)优先权数据 16/732,204 2019.12.31 US (71)申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 地址 中国台湾新竹市新竹科学工业园力行 六路8号 (72)发明人 施旺成　张浩铭　黄崇洋　林政旻　 (74)专利代理机构 北京律盟知识产权代理有限 责任公司 11287 代理人 李春秀 (51)Int.Cl. G03F 1/66 (2012.01) 权利要求书1页 说明书12页 附图18页 (54)发明名称 具有检视窗的光罩盒的结构及方法 (57)摘要 本发明实施例涉及具有检视窗的光罩盒的 结构及方法。本发明的一些实施例提供光罩盒的 结构及方法。光罩盒包含经配置以支撑光罩的基 座及可拆卸地耦合到所述基座的盖。所述盖包含 窗，所述窗允许处于约400nm与约700nm之间的波 长的辐射以大于70％的透射比通过。 A 6 2 4 6 2 1 3 1 1 N C CN 113126426 A 权　利　要　求　书 1/1页 1.一种光罩盒，其包括： 基座，其经配置以支撑光罩；及 盖，其经配置以与所述基座形成密封空间，所述盖包括窗，