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PCT发明

用于机械接口的中间层

2023-06-23 08:25:58 发布于四川 2
  • 申请专利号：CN202080014571.4
  • 公开（公告）日：2024-08-02
  • 公开（公告）号：CN113454535A
  • 申请人：ASML控股股份有限公司
摘要：一种设备，包括第一基板、第二基板和设置在所述第一基板与所述第二基板之间的中间层。所述中间层被配置成作为在所述设备受到外力的情况下的第一失效点或破损点。所述设备还可以包括设置在所述第一基板与所述第二基板之间的结合层。所述结合层被配置成将所述中间层结合到所述第一基板和第二基板。所述设备还可以包括被联接至所述第一基板和所述第二基板的紧固件。所述紧固件被配置成将所述中间层固定到所述第一基板和所述第二基板。所述中间层可以包括涂覆至所述第一衬底或所述第二衬底的涂层。所述设备还可以包括设置在所述第一基板与所述紧固件之间或所述第二基板与所述紧固件之间的第二中间层。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113454535 A (43)申请公布日 2021.09.28 (21)申请号 202080014571.4 (74)专利代理机构 中科专利商标代理有限责任 公司 11021 (22)申请日 2020.01.27 代理人 张启程 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 62/804,915 2019.02.13 US G03F 7/20 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 C09J 5/00 (2006.01) 2021.08.13 F16B 11/00 (2006.01) (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/EP2020/051950 2020.01.27 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2020/164898 EN 2020.08.20 (71)申请人 ASML控股股份有限公司 地址 荷兰维德霍温 (72)发明人 K ·S ·多

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