弹性板、创建其的方法和成像系统

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113777878 A (43)申请公布日 2021.12.10 (21)申请号 202111086112.X (22)申请日 2017.05.26 (30)优先权数据 62/342475 2016.05.27 US (62)分案原申请数据 201780046434.7 2017.05.26 (71)申请人 艾司科软件有限公司 地址 比利时根特 (72)发明人 P.莫里斯　W.西弗斯　 (74)专利代理机构 中国专利代理(香港)有限公 司 72001 代理人 毕铮　周学斌 (51)Int.Cl. G03F 1/70 (2012.01) G03F 7/12 (2006.01) 权利要求书4页 说明书15页 附图11页 (54)发明名称 弹性板、创建其的方法和成像系统 (57)摘要 一种用于创建弹性板或用于产生弹性板的 掩模的过程包括提供具有由相等尺寸的网屏斑 点的基本图案限定的分辨率的网屏，每一个网屏 斑点包括在网屏上表示的最小曝光的分立元素。 在板或掩模的至少非实心色调部分中，选择性地 调制物理斑点的尺寸，使得基本图案中的每一组 四个相邻物理斑点具有在其间定心的未曝光区 域。基本图案中的每一个网屏斑点可以是被8个 未曝光像素围绕的曝光像素，每一个物理斑点对 应于用于曝光掩模上的斑点的激光束的分辨率， 其中成像步骤包括相对于非隔离像素而提升用 于隔离像素的激光束的功率。还公开了掩模和板 A 以及用于创建它们的成像系统。