比较全息成像
- 申请专利号:CN202011482502.4
- 公开(公告)日:2021-06-18
- 公开(公告)号:CN112987532A
- 申请人:FEI 公司
专利内容
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112987532 A (43)申请公布日 2021.06.18 (21)申请号 202011482502.4 (22)申请日 2020.12.16 (30)优先权数据 16/717748 2019.12.17 US (71)申请人 FEI 公司 地址 美国俄勒冈州 (72)发明人 A ·巴姆 (74)专利代理机构 中国专利代理(香港)有限公 司 72001 代理人 张凌苗 周学斌 (51)Int.Cl. G03H 5/00 (2006.01) 权利要求书2页 说明书9页 附图5页 (54)发明名称 比较全息成像 (57)摘要 本文公开了用于比较全息成像以改进重构 的结构和分子信息的设备和方法。示例方法至少 包括:获取样品的多个全息图,其中在不同电子 束能量下获取所述多个全息图中的每一个全息 图;并且至少基于所述多个全息图中的至少两个 全息图的比较而确定所述样品的原子和结构信 息。 A 2 3 5 7 8 9 2 1 1 N C CN 112987532 A 权 利 要 求 书 1/2 页 1. 一种方法,其包括: 用电子束获取样品的多个全息图;以及 至少基于所述多个全息图中的至少两个全息图的比较而确定所述样品的原子和结构 信息, 其特征在于 在不同的电子束能量下获取所述多
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