原创力.专利
用于ALD工艺的方法和设备
- 申请专利号：CN201980044799.5
- 公开（公告）日：2025-02-28
- 公开（公告）号：CN112368802A
- 申请人：应用材料公司
专利内容
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112368802 A (43)申请公布日 2021.02.12 (21)申请号 201980044799.5 (74)专利代理机构 北京律诚同业知识产权代理 有限公司 11006 (22)申请日 2019.07.18 代理人 徐金国 赵静 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 62/712,793 2018.07.31 US H01L 21/02 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 H01L 51/00 (2006.01) 2020.12.31 H01L 51/56 (2006.01) (86)PCT国际申请的申请数据 H01L 21/67 (2006.01) PCT/US2019/042457 2019.07.18 C23C 16/455 (2006.01) (87)PCT国际申请的公布数据 WO2020/028062 EN 2020.02.
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