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发明

有机膜形成材料、有机膜的形成方法、图案形成方法、以及化合物

2023-06-14 12:22:13 发布于四川 0
  • 申请专利号：CN202011564357.4
  • 公开（公告）日：2025-05-16
  • 公开（公告）号：CN113050373A
  • 申请人：信越化学工业株式会社
摘要：本发明涉及有机膜形成材料、有机膜的形成方法、图案形成方法、以及化合物。本发明提供用以形成兼顾高程度的填埋特性/高程度的平坦化特性/和基板间的优良的密合力的有机膜的有机膜材料。提供含有下列通式(1)表示的化合物及有机溶剂的有机膜形成材料。该通式(1)中，X为碳数2～50的n1价的有机基团，n1表示2～10的整数，R1为下式(2)～(4)中的至少一者以上；该通式(3)中，l1表示0或1；该通式(4)中，l2表示0或1。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113050373 A (43)申请公布日 2021.06.29 (21)申请号 202011564357.4 C07D 307/88 (2006.01) C07D 493/10 (2006.01) (22)申请日 2020.12.25 C07D 311/82 (2006.01) (30)优先权数据 C07D 233/74 (2006.01) 2019-236335 2019.12.26 JP C07D 239/62 (2006.01) (71)申请人 信越化学工业株式会社 C07D 251/30 (2006.01) 地址 日本东京都 C07D 487/04 (2006.01) C07C 69/736 (2006.01) (72)发明人 郡大佑　中原贵佳　美谷岛祐介　 野田和美　 (74)专利代理机构 北京林达刘知识产权代理事 务所(普通合伙) 11277 代理人 刘新宇　李茂家 (51)Int.Cl. G03F

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