多通路式真空蒸发源

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116479383 A (43)申请公布日 2023.07.25 (21)申请号 202310135208.3 (22)申请日 2020.07.03 (62)分案原申请数据 202010630958.4 2020.07.03 (71)申请人 埃频 （上海）仪器科技有限公司 地址 201415 上海市奉贤区钜庭路998号1 号楼 (72)发明人 艾金虎　 (74)专利代理机构 上海智晟知识产权代理事务 所(特殊普通合伙) 31313 专利代理师 李镝的 (51)Int.Cl. C23C 14/24 (2006.01) 权利要求书1页 说明书6页 附图7页 (54)发明名称 多通路式真空蒸发源 (57)摘要 本发明提供了一种多通路式真空蒸发源，所 述多通路式真空蒸发源包括 ：多组独立蒸发通 道，被配置为分别对镀膜对象提供蒸发操作；集 成罩，被配置为将所述多组独立蒸发通道的顶端 集成在一封闭空间内，所述多组独立蒸发通道通 过其顶端将蒸发的靶材传送至所述镀膜对象；组 合挡板，被配置为位于所述集成罩与所述镀膜对 象之间，通过开启动作和关闭动作，使所述多组 独立蒸发通道与所述镀膜对象之间连通或隔断； 安装法兰，被配置为将所述多组独立蒸发通道与 挡板驱动集成在一起 ；挡板驱动，被配置为控制 并驱动所述组合挡板的开启动作和关闭动作。 A 3 8 3 9 7 4 6 1 1 N C CN 11