基于双向预紧的初始转角误差可调节的微纳平台2024

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 110189791 A (43)申请公布日 2019.08.30 (21)申请号 201910469919.8 (22)申请日 2019.05.31 (71)申请人 中国工程物理研究院机械制造工艺 研究所 地址 621000 四川省绵阳市绵山路64号 (72)发明人 李建明　王国伟　沈显峰　陈金明　 党永坤　 (74)专利代理机构 成都行之专利代理事务所 (普通合伙) 51220 代理人 熊曦 (51)Int.Cl. G12B 5/00(2006.01) 权利要求书2页 说明书5页 附图7页 (54)发明名称 基于双向预紧的初始转角误差可调节的微 纳平台 (57)摘要 本发明公开了基于双向预紧的初始转角误 差可调节的微纳平台，所述微纳平台包括：平台 (1)、压电陶瓷驱动器(2)、连接块(3)、第一固定 端(5)、第二固定端(6)、第一放大杠杆(7)、第二 放大杠杆(8)、第一连接板簧(9)、第二连接板簧 (10)、导向板簧(11)、中心平台(12)、光栅读数头 (13)、光栅玻璃尺(14)、第一压块(15)、第二压块 (16)、支架(17)、预紧弹簧(18)、预紧螺钉(19)； 通过本微纳平台的可调节方式能够对存在的缺 陷进行补偿。 A 1 9 7 9 8 1 0 1 1