一种三自由度微动平台及工作方法

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116343901 A (43)申请公布日 2023.06.27 (21)申请号 202310147009.4 (22)申请日 2023.02.20 (71)申请人 山东大学 地址 250061 山东省济南市历下区经十路 17923号 (72)发明人 闫鹏　江文渊　于海洋　蒋雨龙　 (74)专利代理机构 济南圣达知识产权代理有限 公司 37221 专利代理师 邓建国 (51)Int.Cl. G12B 5/00 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图4页 (54)发明名称 一种三自由度微动平台及工作方法 (57)摘要 本发明提供了一种三自由度微动平台及工 作方法 ，属于精密驱动技术领域 ，包括 ：输出中 轴、基座、驱动曲板和驱动器，输出中轴用于安装 固定驱动对象；所述输出中轴外侧面固定安装有 四组驱动曲板，四组驱动曲板构成X形状，每个驱 动曲板端部对应连接一个驱动器，驱动器安装在 基座上，驱动器用于对驱动曲板提供径向压力， 使得驱动曲板径向压缩从而带动输出中轴移动 或转动；采用控制同侧设置的两个驱动器运动量 的输出大小 ，控制输出中轴在平面上的线性位 移，通过控制相对设置的两个驱动器运动量的输 出大小，带动输出中轴转动一定角度，最终实现 A 微动平台三个自由度的输出，整体结构简单，动 1 作输出稳定可靠，提高了作业精度和稳定性。 0 9 3 4 3 6 1 1 N C CN 116343