ALD理想主机台清理石墨载板风刀2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 220537914 U (45)授权公告日 2024.02.27 (21)申请号 202322254720.8 (22)申请日 2023.08.22 (73)专利权人 云南润阳世纪光伏科技有限公司 地址 655000 云南省曲靖市麒麟区翠峰东 路83号三楼 (72)发明人 王新春　 (74)专利代理机构 北京冠和权律师事务所 11399 专利代理师 张杰 (51)Int.Cl. C23C 16/44 (2006.01) C23C 16/455 (2006.01) B08B 5/02 (2006.01) 权利要求书1页 说明书3页 附图4页 (54)实用新型名称 ALD理想主机台清理石墨载板风刀 (57)摘要 本实用新型提供了ALD理想主机台清理石墨 载板风刀，并涉及半导体纳米薄膜沉积技术领 域，包括：风刀支架，风刀通过风刀固定架安装于 风刀支架上，风刀两端通过相同的气管接头与气 管进行连通，气管通过三通阀与CDA输入主气管 进行连通。本发明风刀采用制定钢管制成，通过 气管接头，手阀，气管组成，安装简单方便，风刀 两侧使用气管接头连接气管，两侧气管通过三通 阀与CDA输入主气管连接，风刀下方根据石墨框 尺寸分别开孔，使孔对准石墨框的中心位置，达 到均匀清理的目的，通过控制手阀将CDA输入主 气管，经过三通阀分流，分别从风刀两侧进入，并 U 从风刀下方的若干个小孔吹出，以达到清理石墨 4 载板的目的