一种防止微型电容器基膜烫伤的电子枪装置及防烫伤方法2025

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116904935 A (43)申请公布日 2023.10.20 (21)申请号 202310707279.6 (22)申请日 2023.06.15 (71)申请人 上海邦妙真空科技有限公司 地址 201611 上海市松江区车墩镇赵家泾 路458号4幢2号 (72)发明人 包中敢　 (74)专利代理机构 上海尊肃专利代理事务所 (普通合伙) 31454 专利代理师 李珍珍 (51)Int.Cl. C23C 14/30 (2006.01) C23C 14/14 (2006.01) C23C 14/02 (2006.01) 权利要求书2页 说明书5页 附图4页 (54)发明名称 一种防止微型电容器基膜烫伤的电子枪装 置及防烫伤方法 (57)摘要 本发明公开了一种防止微型电容器基膜烫 伤的电子枪装置，包括发射腔，所述发射腔一侧 安装有分子泵和发射组件，另一侧开有发射口， 所述发射组件的外侧罩有保护罩，所述保护罩固 定连接接口法兰 ，所述发射口外侧连通发射通 道，所述发射通道一端固定连接发射腔，所述发 射通道另一端连接聚焦通道，所述聚焦通道上套 有聚焦线圈，所述聚焦线圈连接聚焦线圈冷却套 一侧，所述聚焦线圈冷却套另一侧连接基座法 兰，所述基座法兰连接隔板，所述聚焦通道另一 端设有偏转通道，所述偏转通道连接隔板，所述 A 偏转通道上安装有偏转线圈。本装置运用于真空 5 镀膜机中 ，可对基膜进行电子束轰击