一种铝掺杂氧化锌透明导电膜制备设备2025

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117051386 A (43)申请公布日 2023.11.14 (21)申请号 202310839789.9 B01J 19/00 (2006.01) (22)申请日 2023.07.10 (71)申请人 景德镇陶瓷大学 地址 333403 江西省景德镇市浮梁县湘湖 镇景德镇陶瓷大学 申请人 江西联淦电子科技有限公司 (72)发明人 朱华　余石金　祝志文　郑元伟　 李禄孙　王艳香　李家科　郭平春　 江和栋　 (74)专利代理机构 北京鼎云升知识产权代理事 务所(普通合伙) 11495 专利代理师 周忠长 (51)Int.Cl. C23C 18/16 (2006.01) B01J 19/18 (2006.01) 权利要求书2页 说明书7页 附图5页 (54)发明名称 一种铝掺杂氧化锌透明导电膜制备设备 (57)摘要 本发明属于化学镀膜技术领域，具体的说是 一种铝掺杂氧化锌透明导电膜制备设备，包括镀 膜反应釜，镀膜反应釜包括釜体，釜体顶部安装 有顶盖，釜体侧壁设有进液管，反应腔底部侧壁 设置有出液管，出液管穿过釜体侧壁与外界相 通；釜体的反应腔底部设置速溶组件，用以加速 反应腔底部沉淀溶质的溶解；本发明通过定时慢 速启动位于反应釜底部的驱动设备，驱动设备会 带动搅动盘在安装槽中转动，作用于反应腔内部