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实用新型

一种电子束蒸发台用行星盘结构

2023-07-25 07:09:07 发布于四川 2
  • 申请专利号：CN202021011408.6
  • 公开（公告）日：2021-01-01
  • 公开（公告）号：CN212270226U
  • 申请人：无锡芯谱半导体科技有限公司
摘要：本实用新型属涉及半导体设备技术领域，尤其涉及一种电子束蒸发台用行星盘结构，现提出如下方案，其包括；它包含支架、支撑臂、一号转轴、行星盘、转轮、二号转轴；所述的支架的上侧设有数个一号螺孔，支架的外壁上固定有数个支撑臂，支撑臂的下侧活动穿设有一号转轴；所述的一号转轴的前端穿过行星盘后，与限位螺母过盈设置，行星盘设于支撑臂的内侧，限位螺母设于行星盘的内侧；所述的行星盘上设有数个硅片通孔；所述的一号转轴的后端穿过转轮后，与限位轮过盈设置，转轮设于支撑臂的外侧；采用轨道滑轮悬挂结构，减小行星盘的震动，防滑防震，避免碎片，行星盘公转加自转使得硅片受热均匀，提高金属膜的均匀性，而且养护操作方便。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212270226 U (45)授权公告日 2021.01.01 (21)申请号 202021011408.6 (22)申请日 2020.06.04 (73)专利权人 无锡芯谱半导体科技有限公司 地址 214000 江苏省无锡市会西路30-34 (无锡光电新材料科技园内) (72)发明人 马溢华　 (74)专利代理机构 北京中政联科专利代理事务 所(普通合伙) 11489 代理人 韩璐 (51)Int.Cl. C23C 14/50 (2006.01) C23C 14/30 (2006.01) C23C 14/16 (2006.01) (ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 (54)实用新型名称 一种电子束蒸发台用行星盘结构 (57)摘要 本实用新型属涉及半导体设备技术领域，尤 其涉及一种电子束蒸发台用行星盘结构，现提出 如下方案，其包括；它包含支架、支撑臂、一号转 轴、行星盘、转轮、二号转轴；所述的支架的上侧 设有数个一号螺孔，支架的外壁上固定有数个支 撑臂，支撑臂的下侧活动穿设有一号转轴；所述 的一号转轴的前端穿过行星盘后，与限位螺母过 盈设置，行星盘设于支撑臂的内侧，限位螺母设 于行星盘的内侧；所述的行星盘上设有数个硅片 通孔；所述的一号转轴的后端穿过转轮后，与限 位轮过盈设置，转轮设于支撑臂的外侧；采用轨 道滑轮悬挂结构，减小行星盘的震动，防滑防震，

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