一种改善膜层颗粒的方法2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117551978 A (43)申请公布日 2024.02.13 (21)申请号 202311487203.3 C23C 14/14 (2006.01) C23C 14/08 (2006.01) (22)申请日 2023.11.09 C23C 14/06 (2006.01) (71)申请人 湖南普照信息材料有限公司 地址 410221 湖南省长沙市岳麓区麓枫路 40号 (72)发明人 吴云峰　周志刚　李伟　杨旭　 徐根　李翼　张诚　 (74)专利代理机构 上海愉腾专利代理事务所 (普通合伙) 31306 专利代理师 李四娥 (51)Int.Cl. C23C 14/56 (2006.01) C23C 14/35 (2006.01) C23C 14/54 (2006.01) C23C 14/02 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图2页 (54)发明名称 一种改善膜层颗粒的方法 (57)摘要 本发明公开了一种改善膜层颗粒的方法，用 于镀膜工艺，包括：进行遮挡物清洁；进行镀膜机 腔体清洁；包括使用负压吸收装置清除腔体内的 粉尘，进行擦拭处理，安装已清洁的遮挡物，将腔