一维有序柔性微纳可控制特征参数褶皱结构制备方法2023
- 申请专利号:CN202311186876.5
- 公开(公告)日:2023-11-07
- 公开(公告)号:CN117003196A
- 申请人:上海交通大学
专利内容
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117003196 A (43)申请公布日 2023.11.07 (21)申请号 202311186876.5 (22)申请日 2023.09.14 (71)申请人 上海交通大学 地址 200240 上海市闵行区东川路800号 (72)发明人 董芷淇 叶境霖 何友浪 李修璇 胡开明 张文明 (74)专利代理机构 上海交达专利事务所 31201 专利代理师 王毓理 王锡麟 (51)Int.Cl. B81C 1/00 (2006.01) 权利要求书1页 说明书3页 附图3页 (54)发明名称 一维有序柔性微纳可控制特征参数褶皱结 构制备方法 (57)摘要 一维有序柔性微纳可控制特征参数褶皱结 构制备方法,通过环戊酮稀释SU8得到不同稀释 比例的SU8光刻胶后以三段式旋涂法旋涂至PDMS 基底上,经曝光加热后得到一维有序柔性微纳褶 皱结构。本发明通过环戊酮调整浓度,精确控制 硬膜软基双层结构的褶皱参数,达到平行度高、 无裂纹、有序性好、可重复性高的微纳褶皱结构。 A 6 9 1 3 0 0 7 1 1 N C CN 117003196 A 权 利 要 求 书 1/1页 1.一种一维有序柔性微纳可控制特征参数褶皱结构制备方法,其特征在于,通过环戊 酮稀释SU8得到不同稀释比例的SU8光刻胶后以三段式旋涂法旋涂至PDMS基底上,经曝光加 热后得到一维有
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