一种管状铬靶材的制备方法

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 109972100 A (43)申请公布日 2019.07.05 (21)申请号 201910397062.3 (22)申请日 2019.05.13 (71)申请人 无锡飞而康新材料科技有限公司 地址 214145 江苏省无锡市新吴区鸿山街 道鸿山路99号 (72)发明人 刘慧渊　 (74)专利代理机构 北京三聚阳光知识产权代理 有限公司 11250 代理人 李静 (51)Int.Cl. C23C 14/34(2006.01) B22F 3/15(2006.01) B22F 3/24(2006.01) 权利要求书1页 说明书7页 附图3页 (54)发明名称 一种管状铬靶材的制备方法 (57)摘要 本发明属于靶材制造技术领域，具体涉及一 种管状铬靶材的制备方法。所述方法包括过渡层 的制备、包套的制备、包套脱气、热等静压、退火 处理、机加工等步骤，通过本发明的方法制备得 到的管状铬靶材没有裂纹产生、不会发生弯曲变 形、致密度＞99％，纯度高，极大的提高了产品的 合格率。 A 0 0 1 2 7 9 9 0 1 N C CN 109972100 A 权　利　要　求　书 1/1页 1.一种管状铬靶材