转动机构及其真空镀膜机

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113278944 A (43)申请公布日 2021.08.20 (21)申请号 202110568577.2 (22)申请日 2021.05.25 (71)申请人 深圳市鼎信表面处理科技有限公司 地址 518104 广东省深圳市宝安区沙井街 道万安路长兴科技园8栋5楼A区 (72)发明人 曾妩　徐鹏　马敬忠　 (74)专利代理机构 北京中仟知识产权代理事务 所(普通合伙) 11825 代理人 周庆佳 (51)Int.Cl. C23C 14/50 (2006.01) C23C 14/24 (2006.01) 权利要求书2页 说明书7页 附图10页 (54)发明名称 转动机构及其真空镀膜机 (57)摘要 本发明涉及真空镀膜技术领域，特别是涉及 转动机构及其真空镀膜机。真空镀膜机的转动机 构，用于带动待镀膜件相对靶面运动，待镀膜件 具有相邻设置的第一边和第二边，第一边的长度 大于第二边的长度；转动机构包括驱动件、传动 单元、主动自转单元以及从动自转单元，驱动件 连接于传动单元；主动自转单元包括第一转轴及 第一椭圆形齿轮，从动自转单元包括第二转轴及 第二椭圆形齿轮，第一转轴与传动单元配合，第 一椭圆形齿轮固定于第一转轴，第二椭圆形齿轮 固定于第二转轴并用于承载待镀膜件，第二椭圆 形齿轮和第一椭圆形齿轮啮合。一种真空镀膜机 A 包括上述转动机构。本发明的优点在于：待镀膜 4 件外表面的沉积膜层均匀且无色差、性