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发明

掩模组件

2023-07-05 07:16:07 发布于四川 0
  • 申请专利号：CN202110652039.1
  • 公开（公告）日：2025-03-14
  • 公开（公告）号：CN113802090A
  • 申请人：三星显示有限公司
摘要：一种掩模组件包括掩模和阻挡杆。所述掩模包括其中形成有开口的图案区域并且在第一方向上延伸。所述阻挡杆设置在所述掩模下面并且与所述掩模的第一侧部重叠。所述掩模进一步包括伪开口区域和开口区域。所述伪开口区域在所述第一方向上布置在所述掩模的所述第一侧部上，并且其中形成有开口。所述开口区域在所述第一方向上布置在所述掩模的与所述第一侧部相对的第二侧部上，并且分别对应于所述伪开口区域。所述伪开口区域和所述开口区域的每一个中的每单位面积的开口数量小于所述图案区域中的每单位面积的开口数量。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113802090 A (43)申请公布日 2021.12.17 (21)申请号 202110652039.1 H01L 27/32 (2006.01) (22)申请日 2021.06.11 (30)优先权数据 10-2020-0072462 2020.06.15 KR (71)申请人 三星显示有限公司 地址 韩国京畿道 (72)发明人 金相勋　金宗范　姜延姝　朴钟圣　 李相信　李丞赈　郑恩汀　 (74)专利代理机构 北京德琦知识产权代理有限 公司 11018 代理人 刘钊　周艳玲 (51)Int.Cl. C23C 14/04 (2006.01) C23C 14/12 (2006.01) H01L 51/56 (2006.01) 权利要求书2页 说明书13页 附图16页 (54)发明名称 掩模组件 (57)摘要 一种掩模组件包括掩模和阻挡杆。所述掩模 包括其中形成有开口的图案区域并且在第一方 向上延伸。所述阻挡杆设置在所述掩模下面并且 与所述掩模的第一侧部重叠。所述掩模进一步包 括伪开口区域和开口区域。所述伪开口区域在所 述第一方向上布置在所述掩模的所述第一侧部 上，并且其中形成有开口。所述开口区域在所述 第一方向上布置在所述掩模的与所述第一侧部 相对的第二侧部上，并且分别对应于所述伪开口 区域。所述伪开口区域和所述开

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