掩模组件
- 申请专利号:CN202110652039.1
- 公开(公告)日:2025-03-14
- 公开(公告)号:CN113802090A
- 申请人:三星显示有限公司
专利内容
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113802090 A (43)申请公布日 2021.12.17 (21)申请号 202110652039.1 H01L 27/32 (2006.01) (22)申请日 2021.06.11 (30)优先权数据 10-2020-0072462 2020.06.15 KR (71)申请人 三星显示有限公司 地址 韩国京畿道 (72)发明人 金相勋 金宗范 姜延姝 朴钟圣 李相信 李丞赈 郑恩汀 (74)专利代理机构 北京德琦知识产权代理有限 公司 11018 代理人 刘钊 周艳玲 (51)Int.Cl. C23C 14/04 (2006.01) C23C 14/12 (2006.01) H01L 51/56 (2006.01) 权利要求书2页 说明书13页 附图16页 (54)发明名称 掩模组件 (57)摘要 一种掩模组件包括掩模和阻挡杆。所述掩模 包括其中形成有开口的图案区域并且在第一方 向上延伸。所述阻挡杆设置在所述掩模下面并且 与所述掩模的第一侧部重叠。所述掩模进一步包 括伪开口区域和开口区域。所述伪开口区域在所 述第一方向上布置在所述掩模的所述第一侧部 上,并且其中形成有开口。所述开口区域在所述 第一方向上布置在所述掩模的与所述第一侧部 相对的第二侧部上,并且分别对应于所述伪开口 区域。所述伪开口区域和所述开
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