一种直推式晶圆分选机及其晶圆分选工艺

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115837358 A (43)申请公布日 2023.03.24 (21)申请号 202211595798.X (22)申请日 2022.12.13 (71)申请人 深圳市优界科技有限公司 地址 518000 广东省深圳市龙华区观澜街 道凌屋工业路9号 (72)发明人 卢国强　郑灿升　王勇　王俊涛　 (51)Int.Cl. B07C 5/00 (2006.01) B07C 5/02 (2006.01) B07C 5/38 (2006.01) H01L 21/67 (2006.01) 权利要求书2页 说明书10页 附图13页 (54)发明名称 一种直推式晶圆分选机及其晶圆分选工艺 (57)摘要 本发明公开了一种直推式晶圆分选机及其 晶圆分选工艺，包括水平设置的机台以及设置在 机台上的料盒，料盒包括至少两个，至少两个料 盒的顶部为开放面，还包括载盘搬运机构及晶圆 转移机构；晶圆转移机构包括至少两组，至少两 组晶圆转移机构设置在料盒的侧部；载盘搬运机 构架设载料盒及晶圆转移机构上；晶圆转移机构 包括晶圆承载组件、晶圆转移组件、检测组件及 转移组件，晶圆承载组件及晶圆转移组件间隔设 置；检测组件及转移组件分别设置在载晶圆承载 组件及晶圆转移组件的侧部；检测组件从外侧抵 住承载转盘的接晶粒部位。本发明采用近间隙竖 A 向插装载盘，实现了自动检测及晶圆转移承载于 8 一体，通过顶针直推实现晶粒快速转移，有效提 5 3 7 升晶圆分选效率。 3 8