LDI定位运动平台及曝光装置

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218647305 U (45)授权公告日 2023.03.17 (21)申请号 202223205103.0 (22)申请日 2022.11.30 (73)专利权人 合肥芯碁微电子装备股份有限公 司 地址 230088 安徽省合肥市高新区长宁大 道789号1号楼 (72)发明人 李辉　方林　 (74)专利代理机构 北京景闻知识产权代理有限 公司 11742 专利代理师 赵巧从 (51)Int.Cl. G03F 7/20 (2006.01) H05K 7/20 (2006.01) 权利要求书1页 说明书5页 附图2页 (54)实用新型名称 LDI定位运动平台及曝光装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种LDI定位运动平台及 曝光装置。其中，LDI定位运动平台包括底座、直 线导轨、直线电机、运动座和位置检测装置。直线 导轨设置在底座上，直线电机包括直线电机定子 和直线电机动子，直线电机定子设置在底座上并 沿直线导轨的长度方向延伸。运动座安装在直线 导轨上，直线电机动子设置在运动座的底面，直 线电机动子用于驱动运动座沿直线导轨运动。位 置检测装置用于检测运动座的位置信息，运动座 的上表面设置有散热结构。本实用新型的LDI定 位运动平台及曝光装置，能够有效对直线电机散 热，提升直线电机运行稳定性和延长直线电机寿 U 命，降低直线电机发热对定位运动平台位置精度 5 的影响，提高定位运动平台位置精