一种低温漂硅谐振加速度计结构2025

专利内容

本发明公开了一种低温漂硅谐振加速度计结构，涉及惯性导航的技术领域，该结构包括：中间层、上层玻璃盖板和下层玻璃盖板；上层玻璃盖板和下层玻璃盖板分别盖在中间层的外框架两侧与之键合，使中间层真空封装；将谐振器的支撑点设计在加速度计中间层的几何中心，通过谐振器中心支撑梁将中心锚点、放大杠杆结构与双端固定音叉式谐振器连接，驱动检测梳齿测量出受惯性力影响后的谐振频率，向外部引出频率信号，表征加速度大小；在本发明的设计中，中间层的测量结构仅用一个支撑点与外壳固定，显著降低了热应力对加速度计性能的影响，该设计使得加速度计在温度变化时，双端固定音叉式谐振器接近自由热膨胀状态，从而保持稳定的频率响应。G01P15/097(2006.01);G01P15/125(2006.01);G01P15/08(2006.01)