真空镀膜设备中用于传送基板架的驱动轮2023

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219772243 U (45)授权公告日 2023.09.29 (21)申请号 202321407037.7 (22)申请日 2023.06.02 (73)专利权人 安徽越好电子装备有限公司 地址 239050 安徽省滁州市南谯区乌衣镇 双迎路790号3栋 (72)发明人 江嘉　娄国明　徐建柱　沈纬徵　 郑博鸿　 (74)专利代理机构 杭州合信专利代理事务所 (普通合伙) 33337 专利代理师 沈自军 (51)Int.Cl. C23C 14/50 (2006.01) C23C 14/56 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图3页 (54)实用新型名称 真空镀膜设备中用于传送基板架的驱动轮 (57)摘要 本申请涉及一种真空镀膜设备中用于传送 基板架的驱动轮 ，包括 ：输出轴；环形结构的外 壳，包括外径均一的支撑部以及相对支撑部径向 扩大的限位部；电绝缘件，嵌装于所述外壳的内 孔中，并连接所述输出轴。本申请支撑部能够支 撑基板架，限位部能够限制基板架爬坡脱离支撑 部，电绝缘件嵌装于内孔连接至输出轴，实现了 外壳和输出轴之间的电力绝缘。此时外壳材质不 需采用陶瓷等绝缘材质，而可以选择耐磕碰的其 他材质。本申请在满足驱动轮电力绝缘的基础 上，解决了驱动轮易磕碰破碎的问题，降低了维 护成本。 U 3 4 2 2 7 7 9 1 2 N C CN 21