一种芯片工艺偏差自动识别矫正方法及系统2024
- 申请专利号:CN202311519566.0
- 公开(公告)日:2024-04-09
- 公开(公告)号:CN117225659A
- 申请人:江苏永鼎股份有限公司
专利内容
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117225659 A (43)申请公布日 2023.12.15 (21)申请号 202311519566.0 (22)申请日 2023.11.15 (71)申请人 江苏永鼎股份有限公司 地址 215200 江苏省苏州市吴江区汾湖高 新区国道路1788号 (72)发明人 路庆海 顾志强 焦国玺 (74)专利代理机构 苏州市中南伟业知识产权代 理事务所(普通合伙) 32257 专利代理师 冯瑞 (51)Int.Cl. B05C 11/10 (2006.01) 权利要求书2页 说明书10页 附图2页 (54)发明名称 一种芯片工艺偏差自动识别矫正方法及系 统 (57)摘要 本发明提供了一种芯片工艺偏差自动识别 矫正方法及系统,涉及数据处理技术领域,该方 法包括:获取芯片的待涂胶表面以及预设涂胶厚 度;生成多次涂胶工序;对多次涂胶工序中每次 涂胶工序进行实时监测,获取多组实时监测数据 集,每组实时监测数据集包括平台转速监测数 据、滴胶速度监测数据以及滴胶量监测数据;建 立偏差影响识别网络层,获取第一偏差影响指 标;基于所述第一偏差影响指标生成调节数据 集,用于对下一涂胶工序的涂胶控制参数进行校 正,解决了现有技术中存在由于对涂胶质量的监 A 测不准确,导致芯片表面涂胶均匀性不佳的技术 9 问题,达到提升芯片涂胶均匀性,进而保证芯片 5 6 5 使用寿命的技术效果。 2 2 7 1 1 N C CN 11
最新专利
- 一种柔性线多工作台多底座定位销灌胶方法公开日期:2025-08-26公开号:CN117798035A申请号:CN202311567543.7一种柔性线多工作台多底座定位销灌胶方法
- 发布时间:2024-04-04 07:18:100
- 申请号:CN202311567543.7
- 公开号:CN117798035A
- 一种抗静电电缆桥架制作装置及方法公开日期:2025-08-26公开号:CN117696410A申请号:CN202311687938.0一种抗静电电缆桥架制作装置及方法
- 发布时间:2024-03-18 07:53:370
- 申请号:CN202311687938.0
- 公开号:CN117696410A
- 一种用于防结冰的多孔疏水液膜涂层制备方法及应用公开日期:2025-08-26公开号:CN117181562A申请号:CN202310959167.X一种用于防结冰的多孔疏水液膜涂层制备方法及应用
- 发布时间:2023-12-17 07:11:590
- 申请号:CN202310959167.X
- 公开号:CN117181562A
- 一种适用于纳米级制膜工艺的低温烘烤固化设备公开日期:2025-08-26公开号:CN117000557A申请号:CN202311068983.8一种适用于纳米级制膜工艺的低温烘烤固化设备
- 发布时间:2023-11-11 07:25:160
- 申请号:CN202311068983.8
- 公开号:CN117000557A
- 可充液喷头公开日期:2025-08-26公开号:CN116943898A申请号:CN202310925311.8可充液喷头
- 发布时间:2023-10-31 07:24:430
- 申请号:CN202310925311.8
- 公开号:CN116943898A
- 一种高效喷涂设备公开日期:2025-08-26公开号:CN108554687A申请号:CN201810655040.8一种高效喷涂设备
- 发布时间:2023-09-11 07:19:040
- 申请号:CN201810655040.8
- 公开号:CN108554687A