一种适用于纳米级制膜工艺的低温烘烤固化设备2025

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117000557 A (43)申请公布日 2023.11.07 (21)申请号 202311068983.8 (22)申请日 2023.08.23 (71)申请人 江阴市纪泽万家科技有限公司 地址 214400 江苏省无锡市江阴市高新区 金山路201号智慧坊B5层 (72)发明人 孙杭州　孙斌　尚博　梁舰　 李晓刚　 (74)专利代理机构 江阴市轻舟专利代理事务所 (普通合伙) 32380 专利代理师 朱成林 (51)Int.Cl. B05D 3/02 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图8页 (54)发明名称 一种适用于纳米级制膜工艺的低温烘烤固 化设备 (57)摘要 本发明涉及半导体以及光伏产业涂膜技术 领域，具体公开了一种适用于纳米级制膜工艺的 低温烘烤固化设备 ,包括下支撑机构、上支撑机 构与控制机构，下支撑机构包括下支撑组件与下 支撑组件外侧罩设的下外防护组件，上支撑机构 包括上支撑组件与上支撑组件外侧罩设的上外 防护组件，控制机构包括温控组件；本发明中，采 用较厚的加热板，使其增加强度，可以减少加热 板因受热变形的变形量，起到热能均匀向表面传 递的作用；加热板热辐射遇到热反射板下端面后 会形成热反射，增加热量的各向传播角度，提高 A 热传导的均匀性；下隔热槽板、下外隔热板、上隔 7 热罩板、上外隔热板相对加热板起到一个隔热作 5 5 0 用，降低整个设备的热损耗。