超大产能真空镀膜腔及用于异质结技术的真空镀膜设备

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116180056 A (43)申请公布日 2023.05.30 (21)申请号 202310126862.8 (22)申请日 2023.02.17 (71)申请人 常州捷佳创精密机械有限公司 地址 213000 江苏省常州市新北区机电工 业园宝塔山路9号 (72)发明人 左国军　朱海剑　 (74)专利代理机构 常州市韬略专利代理事务所 (普通合伙) 32565 专利代理师 何聪 (51)Int.Cl. C23C 16/50 (2006.01) C23C 16/455 (2006.01) 权利要求书1页 说明书6页 附图7页 (54)发明名称 超大产能真空镀膜腔及用于异质结技术的 真空镀膜设备 (57)摘要 本发明涉及镀膜设备技术领域，具体涉及一 种超大产能真空镀膜腔以及用于异质结技术的 真空镀膜设备 ，超大产能真空镀膜腔具有一内 腔，所述内腔上部设有分气组件，所述分气组件 至少包括由上至下依次由气孔连通的第一分气 板、第二分气板，能够极大地改善腔内气流场均 匀性差的问题，凸台状的导热件，减少加热器和 硅片的距离，来提高加热效率和温度均匀性，保 证了内腔镀膜的工艺效果；同时直线式多工艺腔 排布方式，也同步降低了生产节拍，大大增加了 设备产能。 A 6 5 0 0 8 1 6 1 1 N C CN 116180056 A 权　利　要　求　书