易调整式弱耦合微压力传感器及闭环控制和温度补偿方法2023

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116839763 A (43)申请公布日 2023.10.03 (21)申请号 202310817530.4 (22)申请日 2023.07.05 (71)申请人 中国科学院空天信息创新研究院 地址 100190 北京市海淀区北四环西路19 号 (72)发明人 陈德勇　秦佳新　鲁毓岚　谢波　 王军波　 (74)专利代理机构 北京科迪生专利代理有限责 任公司 11251 专利代理师 金怡 (51)Int.Cl. G01L 1/10 (2006.01) G01L 5/00 (2006.01) G01L 25/00 (2006.01) 权利要求书2页 说明书6页 附图2页 (54)发明名称 易调整式弱耦合微压力传感器及闭环控制 和温度补偿方法 (57)摘要 本发明提出一种易调整式弱耦合微压力传 感器及闭环控制和温度补偿方法，以满足应用于 宽温区微压力测量的需求。本发明的结构非常容 易调整，在确保差分敏感的基础上实现弱耦合谐 振器的耦合刚度调整。本发明采用基于恒幅激励 的方案，为进一步提升闭环控制的稳定性加入了 鉴相器环节，并将未受交流激励的谐振器的振幅 信号作为鉴相器的参考信号，以此将耦合谐振器 的模态锁定在工作模态。本发明将两个谐振器的 位移之和用于环境温度的表征，从而对传感器温 度特性偿，实现传感器输出与温度的解耦。 A 3 6 7 9 3 8 6 1 1