感光性树脂和防反射膜去除用稀释剂组合物以及利用其的感光性树脂和防反射膜去除方法

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112947012 A (43)申请公布日 2021.06.11 (21)申请号 202011452007.9 (22)申请日 2020.12.10 (30)优先权数据 10-2019-0164471 2019.12.11 KR 10-2020-0165183 2020.11.30 KR (71)申请人 东友精细化工有限公司 地址 韩国全罗北道 (72)发明人 金圣植　金正铉　房淳洪　金泰熙　 李荣宰　 (74)专利代理机构 北京同达信恒知识产权代理 有限公司 11291 代理人 黄志华　洪秀川 (51)Int.Cl. G03F 7/32 (2006.01) 权利要求书1页 说明书13页 附图4页 (54)发明名称 感光性树脂和防反射膜去除用稀释剂组合 物以及利用其的感光性树脂和防反射膜去除方 法 (57)摘要 本发明提供一种稀释剂组合物，所述稀释剂 组合物包含：a)C2～C4亚烷基二醇C1～C4烷醚乙 酸酯；b)环戊酮；c)以化学式表示的化合物，本发 明还提供一种感光性树脂以及防反射膜去除方 法。 A 2 1 0 7 4 9 2 1 1 N C CN 112947012 A 权　利　要　求　书 1/1页 1.一种稀释剂组合物，其特征在于： 包含：a)C2～C4亚烷基二醇C1