原创力.专利
抗蚀剂底层组成物及使用所述组成物形成图案的方法
- 申请专利号：CN202080012809.X
- 公开（公告）日：2025-05-13
- 公开（公告）号：CN113396364A
- 申请人：三星SDI株式会社
专利内容
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113396364 A (43)申请公布日 2021.09.14 (21)申请号 202080012809.X (74)专利代理机构 北京同立钧成知识产权代理 有限公司 11205 (22)申请日 2020.03.23 代理人 郑乐 臧建明 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 10-2019-0037030 2019.03.29 KR G03F 7/11 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 G03F 7/20 (2006.01) 2021.08.05 G03F 7/26 (2006.01) (86)PCT国际申请的申请数据 G03F 7/16 (2006.01) PCT/KR2020/003965 2020.03.23 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2020/204431 KO 2020.10.08 (71)申
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