原创力.专利
训练用于改善图案化过程的机器学习模型的方法
- 申请专利号：CN202080055236.9
- 公开（公告）日：2025-04-11
- 公开（公告）号：CN114207517A
- 申请人：ASML荷兰有限公司
专利内容
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114207517 A (43)申请公布日 2022.03.18 (21)申请号 202080055236.9 (74)专利代理机构 中科专利商标代理有限责任 公司 11021 (22)申请日 2020.07.30 代理人 张启程 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 62/886,058 2019.08.13 US G03F 1/36 (2012.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 G03F 7/20 (2006.01) 2022.01.28 G06N 3/04 (2006.01) (86)PCT国际申请的申请数据 G06N 3/08 (2006.01) PCT/EP2020/071453 2020.07.30 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2021/028228 EN 2021.02.18 (71)申请人 ASML荷
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